Reactive high power impulse magnetron sputtering of metal oxides

Författare
Linköpings universitet Montri Aiempanakit
(Montri Aiempanakit., Diss. Linköping : Linköpings universitet, 2013, Med populärvetenskaplig sammanfattning på svenska)
Genre
Avhandlingar, theses
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
Department of Physics, Chemistry and Biology Linköping University 2013 Sverige, Linköping xiv, 98 sidor. ill. 978-91-7519-622-0